光刻機(jī)是生產(chǎn)制造芯片的主要設(shè)備,沒有先進(jìn)的光刻機(jī),自然就無法生產(chǎn)制造先進(jìn)制程的芯片。
在光刻機(jī)廠商中,ASML的技術(shù)最為先進(jìn),幾乎占領(lǐng)了中高端市場,尤其是ASML研發(fā)制造的EUV光刻機(jī),其是生產(chǎn)制造Seven 納米及以下芯片的必要設(shè)備。
雖然用DUV光刻機(jī)也能夠生產(chǎn)制造Seven 納米,但其存在成本高、工藝復(fù)雜以及良品率低等問題,所以在Seven 納米及以下芯片上,基本上都是采用EUV光刻機(jī)。
但EUV光刻機(jī)在2015年被研發(fā)制造出來以后,其產(chǎn)能一直都比較低,目前才總共出貨才100臺,并且一半以上都交付了臺積電。數(shù)據(jù)顯示,三星也想要更多EUV光刻機(jī),無奈ASML根本無法生產(chǎn)出來,并且,ASML還積壓了幾十億歐元的EUV光刻機(jī)訂單。也就是說,從EUV光刻機(jī)被制造出來開始,其就面臨供不應(yīng)求的問題,而且,ASML的產(chǎn)能沒有大幅度提升。
但就在近日,外媒傳來消息,ASML突然大提速,加速生產(chǎn)制造更多EUV光刻機(jī)。
消息稱,ASML預(yù)計(jì)在2021年生產(chǎn)制造45臺EUV光刻機(jī),僅后半年就將交付25臺;2021年生產(chǎn)制造55臺;2022年則是60臺。相當(dāng)于是3年生產(chǎn)160臺EUV光刻機(jī)。
要知道,在2019年ASML僅生產(chǎn)制造了26臺EUV光刻機(jī),而2020年生產(chǎn)制造了30臺EUV光刻機(jī),雖然產(chǎn)能也在逐年提升,但產(chǎn)能提升幅度不大。進(jìn)入2021年后,尤其是進(jìn)入2021年后半年,ASML才突然提速EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能,這至少有三方面的含義。
首先,EUV光刻機(jī)需求太大了,不提速不行了。
據(jù)悉,三星明確表示想要更多EUV光刻機(jī),結(jié)果因?yàn)锳SML產(chǎn)能的問題,其在韓國投資2億美元建設(shè)EUV光刻機(jī)再制造工廠。另外,臺積電和英特爾都積極擴(kuò)大芯片產(chǎn)能,尤其是先進(jìn)制程芯片的產(chǎn)能,這自然需要更多EUV光刻機(jī)。再加上,ASML已經(jīng)積壓了幾十億歐元的EUV光刻機(jī)訂單。
也就是說,巨大的EUV光刻機(jī)需求以及積壓的訂單,已經(jīng)讓ASML不得不提速生產(chǎn)了。
其次,E技術(shù)正在普及。
EUV光刻機(jī)原本就用于非儲存芯片的生產(chǎn)制造,簡單就是說用于生產(chǎn)高通、蘋果、AMD以及華為海思廠商等Seven芯片及以下制程的芯片。如今,EUV光刻機(jī)也開始用于儲存芯片的制造,像三星、SK以及海力士等儲存芯片企業(yè)也開始用EUV光刻機(jī)進(jìn)行制造。
不僅如此,其還將EUV應(yīng)用層從1提升到5,這就意味著其需要更多的EUV光刻機(jī)。關(guān)鍵是,生產(chǎn)5nm等非儲存芯片,每個EUV層面僅需要一臺EUV光刻機(jī),但生產(chǎn)制造16nm以下的儲存芯片,每個EUV層面需要1.5到2臺EUV光刻機(jī)。
也就是說,無論是生產(chǎn)儲存芯片還是非儲存芯片都在用EUV光刻機(jī),這說明EUV技術(shù)正在普及,自然就需要更多EUV光刻機(jī)。
最后,ASML提速也是為了實(shí)現(xiàn)自由出貨。
EUV光刻機(jī)是ASML營收和利潤的主要貢獻(xiàn)者,畢竟其售價高,單臺售價是DUV光刻機(jī)的好幾倍。但是,ASML的EUV光刻機(jī)卻不能自由出貨,盡管ASML多次申請?jiān)S可,甚至還發(fā)出了警告,結(jié)果依舊沒有實(shí)現(xiàn)。
如今,EUV技術(shù)正在普及,儲存芯片和非儲存芯片的生產(chǎn)制造都在使用EUV光刻機(jī),而ASML加速提升EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能,自然能夠加速EUV技術(shù)的普及。
也就是說,EUV技術(shù)普及和大量的EUV光刻機(jī)被生產(chǎn)制造出來,ASML或許就能夠?qū)崿F(xiàn)自由出貨,因?yàn)槠占暗募夹g(shù)就不再是最先進(jìn)的技術(shù)了。
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